Дипломная работа на тему: Современное состояние работ по созданию вакуумной коммутационной аппаратуры

Введение

Необходимость всесторонней интенсификации экономики нераз-

рывно связана с ускорением научно-технического прогресса, важ-

нейшими направлениями которого являются создание и освоение

принципиально новой техники и технологии, автоматизация и меха-

низация производства. Выполнение этих задач требует, в част-

ности, развития вакуумной техники, оказывающей определяющее вли-

яние на создание и производство изделий электроники и все более

широко используемой в других отраслях промышленности.

Разработка новых вакуумных технологий предъявляет к вакуум-

ному оборудованию повышенные требования, разнообразный и меняю-

щийся диапазон значений которых обуславливает необходимость мо-

дернизации и разработки новых конструкций его элементной базы, в

частности, вакуумной коммутационной аппаратуры (ВКА): клапанов,

затворов, натекателей, служащих для периодического сообщения и

герметичного перекрытия вакуумных коммуникаций и управления ва-

куумным режимом. Конструкцией и правильной эксплуатацией ВКА,

являющейся неотъемлемой частью вакуумных систем (ВС), в значи-

тельной степени определяется надежность работы вакуумного техно-

логического оборудования. (ВТО). Вместе с тем традиционное про-

ектирование, основанное на интуитивно-эмпирическом подходе,

исходя из уровня знаний конструктора, не удовлетворяет в полной

мере ужесточившимся требованиям к созданию ВКА (например, необ-

ходимости минимального воздействия потоков газовыделения и заг-

рязнений на технологическую среду оборудования производства из-

делий электронной техники, работе при температурах 600 - 800 К,

повышению показателей надежности в десятки раз и т.д.), что осо-

бенно заметно на примере цельнометаллической ВКА, показатели ка-

чества которой, начиная с начала 70-х годов по существу не улуч-

шаются. В связи с этим существующие конструкции громоздки, имеют

небольшой ресурс и наработку на отказ. Ситуация осложняется

отсутвием единого научно обоснованного подхода к проектированию

ВКА, что приводит к неоправданному ее многообразию, низкому ка-

честву конструкций и, как следствие, к отказам и простоям доро-

гостоящего оборудования при эксплуатации. Кроме того, проявля-

ется тенденция к значительному уменьшению сроков проектирования

ВКА, которая наряду с указанными факторами вызывает необходи-

мость автоматизации процесса проектирования.

Одним из выходов из сложившейся ситуации является разработ-

ка и применение новых развивающихся методик проектирования, поз-

воляющих генерировать множество различных технических решений и

проводить целенаправленный их поиск и выбор, исходя из техни-

ческого задания (ТЗ), имеющего жесткие и иногда полярные требо-

вания.

Изложенное определило цель настоящей работы, которой явля-

ется создание научно обоснованной методологии схемотехнического

и функционального проектирования ВКА, направленной на решение

проблем проектирования ВКА, с конкретной реализацией в виде но-

вых конструкций ВКА и программно-информационных средств, пред-

назначенных для анализа, синтеза и моделирования работы ВКА.

Принципиально функциональное и схемотехническое проектиро-

вание ВКА, заключающееся в синтезе и анализе ВКА на этапе техни-

ческого предложения и содержащее оценку свойств ВКА на основе

исследования процессов ее функционирования, генерацию и выбор

принципиальных технических решений, определяющих структуру ВКА с

учетом специфики ее функционирования в составе конкретной ВС,

можно представить в виде последовательности: цель проектирования

- функция - устройство (элементная структура), которая обуслав-

ливает необходимость формального описания структур, функций,

свойств, объектов для определения проектных целей в виде измене-

ния структур ВКА и определения связей свойств ВКА для построения

этих структур.

Более детально модель процесса проектирования ВКА на на-

чальных стадиях можно представить в виде алгоритма, укрупненная

блок-схема которого приведена на рис. 1.

Согласно представленной блок-схемы, ТЗ на разработку ВКА

определяется требованиями к ВС, являющейся для ВКА объектом бо-

лее высокого уровня, а начальным этапом создания ВКА является

поиск аналогов. Это объясняется нецелесообразностью разработки

новой конструкции ВКА при наличии среди существующих вариантов

ВКА конструкции, полностью удовлетворяющей предъявленным требо-

ваниям.

В случае отсутствия аналогов необходимо проанализировать ТЗ

для выявления заведомо завышенных требований с целью их смягче-

ния. Если данная процедура не приводит к нахождению аналога, то

переходят к поиску прототипа - конструкции ВКА, наиболее полно

соответствующей требованиям ТЗ. Сравнение параметров выбранной

конструкции ВКА с требуемыми (ТЗ) позволяет сформировать потре-

бительские цели проектирования ВКА в виде необходимости измене-

ния соответствующих значений параметров ВКА или ее структурных

составляющих.

Цели и критерии позволяют конструктору осуществлять направ-

ленный поиск и синтез технических решений ВКА. Исходя из целей,

определяют необходимые функции и функциональные модули, их реа-

лизующие. Вводя соответствующие отношения среди найденных функ-

циональных модулей, получают возможные структуры ВКА, из которых

с помощью критериев выбирают структуру, наиболее отвечающую

предъявленным требованиям ТЗ (происходит достижение проектной

цели).

Отсутствие среди известных удовлетворительной функциональ-

ной структуры или появление новых функций для достижения потре-

бительской цели проектирования ВКА приводит к необходимости син-

теза физического принципа действия ВКА, являющегося этапом ее

функционального проектирования, появлению новых функциональных

модулей и повторению этапов схемотехнического проектирования ВКА

для синтеза ее оптимальной элементной структуры.

Анализ приведенного алгоритма проектирования показал, что,

помимо отмеченного отсутствия системного описания ВКА, удобного

для постановки задач схемотехнического и функционального проек-

тирования, достижение поставленной цели осложнено также

отсутствием исследований процесса функционирования ВКА с позиций

схемотехнического проектирования; формального описания структур

ВКА и процесса их синтеза; формализованных научно обоснованных

методов принятия решений при конструировании ВКА, что позволило

сформулировать следующие основные задачи, подлежащие решению:

- проведение системного анализа ВКА;

- разработка системной модели процесса проектирования ВКА;

- разработка методики и математических моделей процесса проекти-

рования ВКА на уровне формирования ее структурных схем;

- построение и исследование модели функционирования ВКА;

- разработка формализованных методов выбора и критериев опти-

мальности при структурном синтезе ВКА;

- разработка комплекса программных средств автоматизации началь-

ных этапов проектирования ВКА;

- разработка новых конструкций ВКА на основе использования соз-

данного методического и информационно-программного обеспечений.

На защиту выносятся:

1. Системные модели ВКА и процесса ее функционального и

схемотехнического проектирования.

2. Методика и математические модели функционально-схемотех-

нического проектирования ВКА.

3. Математические модели ВКА на этапах функционального и

схемотехнического проектирования.

4. Методика и математическая модель оценки конструкций ВКА

и ее структурных составляющих.

5. Результаты исследования математической модели функциони-

рования ВКА и критерии оптимальности конструкций ВКА.

6. Новый класс ВКА переменной структуры и конструкции ВКА.

Оглавление

- Введение .................................................... 4

- Современное состояние работ по созданию вакуумной коммутационной аппаратуры

- Анализ связей ВКА с оборудованием электронной техники. Основные требования, предъявляемые к ВКА

- Функционально-структурный анализ ВКА

- Структурно-конструктивная классификация ВКА

- Аналитический обзор методов поискового конструирования

- Выводы ................................................... 39

- Системный анализ вакуумной коммутационной аппаратуры

- Системная модель ВКА при функциональном и схемо- техническом проектировании

- Функции и структура ВКА

- Свойства ВКА и ее структурных составляющих

- Цели проектирования ВКА

- Уравнение функционирования и критерии оптималь- ности ВКА

- Выводы ................................................... 73

- Разработка методологии схемотехнического и функционального проектирования ВКА

- Методические основы функционального и схемотех- нического проектирования ВКА

- Методика параметрического анализа конструкций ВКА

- Методика синтеза структур ВКА

- Синтез и кинематический анализ механизмов ВКА

- Моделирование процесса функционирования ВКА

- Выводы ...................................................115

- Создание новых конструкций ВКА на базе автоматизации схемотехнического и функционального проектирования

- Программые средства анализа существующих конст- рукций ВКА

- Программные средства синтеза и анализа структур ВКА

- Структурно-функциональная модель САПР ВКА на этапе схемотехнического и функционального проектирования

- Конструкции ВКА, разработанные на основе синтезиро- ванных структур

- Выводы ...................................................135

- Заключение ..................................................137

- Литература ..................................................140

- Приложения

Заключение

На основании изучения материалов, отражающих состояние работ

по созданию ВКА, с учетом требований, предъявляемых вакуумным тех-

нологическим и научным оборудованием, и необходимости автоматиза-

ции процесса проектирования ВКА, можно сделать следующие выводы:

1. Проанализированы характерные режимы эксплуатации ВКА, оп-

ределены условия ее применения в различных группах оборудования и

сформулированы основные требования к показателям качества ВКА.

Установлено, что в ряде случаев ВКА регламентирует производитель-

ность и надежность ВТО.

2. Проведен анализ существующих конструкций ВКА, показана от-

носительная стабильность структуры и выделены основные ФМ ВКА. От-

мечено влияние различных вариантов ФМ на показатели качества ВКА.

Предложен обобщенный показатель, позволяющий производить прибли-

женную оценку эффективности конструкций ВКА, показавший преиму-

щество устройств плоского типа. Установлено отсутствие конструкций

ВКА, полностью удовлетворяющих разнообразным диапазонам требова-

ний, предъявляемых ВТО, в частности отмечено отсутствие цельноме-

таллических плоских устройств, серийно выпускаемых отечественной

промышленностью, а также заметное отставание имеющейся ВКА по ряду

показателей качества от зарубежных образцов.

3. Проведен анализ кинематических и динамических особенностей

работы ВКА, подтвердивший практическое отсутствие исследований в

области анализа и синтеза ее механизмов. Показано, что в настоящее

время не определены кинематические и динамические критерии, позво-

ляющие осуществить выбор рациональной кинематической схемы ВКА.

4. Предложена обобщенная классификация ВКА, построенная на

основании модульно-иерархического подхода к анализу существующих

конструкций ВКА, включающая ее разбиение по признакам используемых

механизмов и дополняющая известные классификации. Отмечено, что

для проведения функционального и схемотехнического проектирования

ВКА ее иерархия может быть представлена двухуровневым деревом, где

первый уровень - ВКА в целом, второй уровень - множество ФМ, вхо-

дящих в структуру ВКА.

5. Показана возможность формирования структуры ВКА выбором из

множества вариантов составляющих ее элементов, что позволяет счи-

тать применимыми для схемотехнического проектирования ВКА методы

поискового конструирования.

6. Анализ методов поискового конструирования показал це-

лесообразность использования метода морфологического анализа и

синтеза, позволяющего формализовать процесс проектирования ВКА на

этапе синтеза ее структурных схем. Отмечены перспективные возмож-

ности данного метода для синтеза новых технических решений при

условии включения процедур выбора и структурной оптимизации.

7. Обоснована необходимость автоматизации проектирования ВКА.

Показана сложность автоматизации конструкторской деятельности,

особенно при разработке машиностроительных объектов. Обзор сущест-

вующих систем автоматизированного проектирования подтвердил

отсутствие разработок по автоматизации схемотехнического и функци-

онального проектирования объектов класса ВКА.

Список литературы

1. Данилин Б.С. Вакуумные технологические процессы и оборудо-

вание микроэлектроники. - М.: Машиностроение, 1987. - 71 с.

2. Sharma J.К.N. Vacuum systems for ion implantation equipment

3. Тихонов А.Н. Особенности проектирования вакуумных систем

современного микрозондового оборудования. / Межвузовский

сборник."Электронное машиностроение, робототехника, техно-

логия ЭВП". - М.: МИЭМ, 1984. - с. 123 - 128.

4. Попов В.Ф. Ионно-лучевые установки. - Л.: Энергоиздат, 1981.

- 136 с.

5. Попов В.Ф., Горин Ю.Н. Процессы и установки электронно-ион-

ной технологии. - М.: Высшая школа, 1988. - 255 с.

8. Жилнин В.С., Жилнина Л.П., Кузьмин А.А. Исследование

десорбции паров воды с поверхности нержавеющей стали

Х18Н10Т в вакууме 10 - 10 торр при различных температурах.

/ Сборник ЭТ, сер. 4 "Электровакуумные и газоразрядные при-

боры". - М.: 1974.

9. Фигнер А.И. Высоковакуумная техника. / Сборник "Электроника

и ее применение". - М.: 1978.

10. Дьяков Ю.Н., Лукичев А.В., Тимофеев Б.В. Современные требо-

вания к технологическим средам и химикатам, используемым

для микроэлектроники. // Электронная промышленность. - Вып.

155, N 7, 1986. - с. 3 - 11.

11. Ивановский Г.Ф., Петров В.И. Ионно-плазменная обработка ма-

териалов. - М.: Радио и связь. 1986. - 232 с.

12. Данилин Б.С., Киреев В.Ю. Применение низкотемпературной

плазмы для травления и очистки материалов. - М.: Энергоато-

миздат, 1987. - 264 с.

13. Hoh Р.D. Quantative particulate contamination studies

Sci. and Technol. - V. 2, N 2, 1984. - р. 198.

manufacturing.// Solid State Tehnol. - 1984,March. - 129 р.

15. Микролитография второй половины 80-х годов. - ЦНИИ "Элект-

роника", вып. 21, 1985. - 5 с.

17. Пипко А.И. Вакуумно-термическое оборудование в производстве

изделий электронной техники.- М.:Машиностроение,1986.- 55с.

19. Ковалев Л.К. Вакуумное оборудование для производства тон-

копленочных структур квантовой электроники. // Обзоры по

ЭТ, серия 11 "Лазерная техника и оптоэлектроника". - 1982,

вып. 2 (886) - 83 с.

20. Розанов Л.Н. Вакуумные машины и установки. - Л.: Машиност-

роение.(Ленингр.отд.), 1975. - 336 с.

21. Саксаганский Г.Л. Вакуумная техника и технология электрофи-

зического аппаратостроения. - М.: ИТР. - Ч. 1., 1989. - 56

с., ч. 2., 1990. - 75 с.

22. Глазков А.А., Малышев И.Ф., Саксаганский Г.Л. Вакуумные

системы электрофизических установок.- М.: Атомиздат,1975.-

288 с.

23. Redhead Р.А. Ultrahigh Vakuum applied tо physics. // J.

24. Симонов В.В., Корнилов Л.А., Шашелев А.В., Шокин Е.В. Обо-

рудование ионной имплантации. - М.: Радио и связь, 1988. -

184 с.

25. Бирюкова Н.Е., Виноградов М.И., Данилов Н.Д., Шишловский

С.К. Сверхвысоковакуумный безмасляный агрегат. // Электрон-

ная техника, сер. 7 "Технология, организация производства и

оборудование". - Вып. 1 (98), 1980. - с. 64 - 68.

26. Кузнецова Л.А., Саксаганский Г.Л. и др. Вакуумные системы

экспериментальных термоядерных установок и реакторов с маг-

нитным удержанием. // Обзор ЦНИИ Атоминфор.: ОА-66. - М.:

1984. - 70 с.

27. Грошковский Я. Техника высокого вакуума. - М.: Мир, 1975.

28. Левин А.М. Конструкционные материалы и герметики в вакуум-

ном приборостроении. - М.: Машиностроение, 1986. - 59 с.

29. Пипко А.И., Плисковский В.Я., Пенчко Е.А. Конструирование и

расчет вакуумных систем. - М.: Энергия, 1979. - 504 с.

30. Панфилов Ю.В., Рябов В.Т., Цветков Ю.Б. Оборудование произ-

водства интегральных схем и промышленные роботы. - М.: Ра-

дио и связь, 1988. - 320 с.

31. Блинов И.Г., Кожитов Л.В. Оборудование полупроводникового

производства. - М.: Машиностроение, 1986. - 264 с.

А., 1990. - 8, N 3 - р. 2798 - 2801.

33. Аверина А.П., Лоскутов А.И. Вакуумные аналитические приборы

и оборудование. - М.: Машиностроение, 1986. - 75 с.

34. Некрасов М.И. Учет дестабилизирующего влияния внутрикамер-

ных устройств на технологический процесс напыления в вакуу-

ме. / Межвузовский сборник "Электронное машиностроение, ро-

бототехника, технология ЭВП". - 1986. - с. 43 - 50.

35. Карасев Б.Г., Саксаганский Г.Л. и др. Комплекс экспер мен-

тальных установок для исследования радиационно-вакумных и

физикомеханических характеристик конструкционных материалов

ТЯР. / Сборник "Исследование и разработка материалов для

реакторов термоядерного синтеза". - М.: Наука, 1981, - с.

36. Александров В.С., Саксаганский Г.Л. и др. Ускорительный

комплекс тяжелых ионов в ОИЯИ. - Дубна: Препринт ОИЯИ:

Р9-83-613, 1983. - 196 с.

37. Vacuum. / Mizobuchi А., Chida К.. // Annu. Rept, Jan. -

- р. 143 - 144.

38. Денисов А.Г., Кузнецов Н.А., Макаренко В.А. Оборудование

для молекулярно-лучевой эпитаксии. // Обзоры по ЭТ, сер. 7

"Технология, организация производства и оборудование. - N

17 (828), 1981. - 52 с.

39. Саксаганский Г.Л., Котельников Ю.Н., Малев М.Д., Смирницкая

Г.В., Юферов В.Б. Сверхвысокий вакуум в радиационно-физи-

ческом аппаратостроении. - М.: Атомиздат, 1976. - 288 с.

40. Прогресс технологии БИС. // Дэнси дзайре. - Т.23, 1984. - с.30.

41. Уэстон Д. Техника сверхвысокого вакуума. - М.: Мир, 1988. -

365 с.

42. Achievement оf extreme high vacuum in the order оf 10 Ра .

Kato S., Aono М., Sato К., Baba Y. // J. Vac. Sci. and

Tehnol. А. - 1990. - 8, N 3. - р. 2860 - 2864.

43. Hamacher Н. Berechnung des Saugvermogens in

44. Котельников Ю.Н. Автоматизация вакуумно-технологических

процессов и оборудования.- М.:Машиностроение, 1987. - 55 с.

45. Александрова А.Т., Ермаков Е.С. Гибкие производственные

системы электронной техники. - М.: Высшая школа, 1989. -

319 с.

46. Волчкевич Л.И. Автоматизация производства электронной тех-

ники. - М.: Высшая школа, 1988. - 287 с.

47. Батраков В.Б. и др. Разработка информационного и программ-

ного обеспечений САПР вакуумного оборудования. / В кн."Раз-

работка САПР вакуумного оборудования и САПР систем автома-

тизированного управления". - НТО МИЭМ, N гос.регистрации

01890052063, Деп. ВНТИЦ. Инв. N 02900008823. - М.: 1989. -

8 - 34 с., ДСП.

48. Хруничев Ю.А. Анализ производительности оборудования для

производства электронных приборов./ Межвузовский сборник

"Электровакуумное машиностроение". - М.: Вып. 2, 1978. - с.

49. Розанов Л.Н. Вакуумная техника. - М.: Высшая школа, 1984. -

207 с.

50. Александрова А.Т. Математическая модель процеса изменения

концентрации газа в вакуумном объеме при газовыделении из

очага трения. / Межвузовский сборник "Электронное машиност-

роение, робототехника, технология ЭВП". - М.: 1984. - с. 12

51. Львов Б.Г. Новые конструкции высоковакуумных прямопролетных

клапанов. - М.: Высшая школа, 1980. - 72 с.

53. Вакуумная техника. Справочник / Под ред. Фролова Е.С., Ми-

найчева В.Е. - М.: Машиностроение, 1985. - 351 с.

54. Львов Б.Г., Шувалов А.С. Техническое обслуживание новой

коммутационно-регулирующей аппаратуры. - М.: Высшая школа,

1987. - 72 с.

55. Рот А. Вакуумные уплотнения. - М.: Энергия, 1971. - 464 с.

56. Вакуумное оборудование. / Каталог. - М.: ЦИНТИхимнефтемаш,

1985. - 60 с., ДСП.

57. Дополнения и изменения к номенклатурному каталогу на осво-

енные и серийно выпускаемые изделия вакуумного машинострое-

ния. - М.: ЦИНТИхимнефтемаш, 1986. - 11с., 1987. - 12 с.,

1988. - 15 с. ДСП.

58. Вакуумная запорная и регулирующая арматура. Справочные ма-

териалы. - М.: ОТЭИНТИ, 1987. - 55 с.

59. Vacuum valves. Каталог фирмы VAT., 1989. - 220 р.

60. Vacuum Equipment. Каталог фирмы PERKIN ELMER, 1988. - 185 р.

61. Vacuum Components. Каталог фирмы BALZERS, 1987. - 300 р.

62. Ventile. Каталог фирмы LEYBOLD-HERAUES, 1989. - 35 р.

63. Вакуумная техника. Каталог компонентов фирмы Alcatel, 1986. -

245 с.

64. Vacuum Valves. Информационно-справочные материалы фирмы

Alcatel, 1989. - 12 р.

65. Vannes d'equeppe. Информационно-справочные материалы фирмы

Alkatel, 1987. - 4 р.

66. UHN Components. Каталог фирмы VACUUM GENERATORS, 1989. - 40 р.

67. Львов Б.Г., Шувалов А.С. Современные сверхвысоковакуумные

уплотнения. - М.: Высшая школа, 1984. - 71 с.

69. Гойхман У.М., Антонов Б.Н. О газопроницаемости некоторых

резин. // Каучук и резина. - N 7, 1976.

70. Домрачев С.Н., Моисеев В.Я., Саксаганский Г.Л. Конструиро-

вание разъемных вакуумных соединений с металлическими уп-

лотнителями. // Электронная техника., сер. 4 "Электроваку-

умные и газоразрядные приборы". - Вып. 3,1975. - с. 67-75.

71. Романенко Н.Т. Агрегаты пневматических систем летательных

аппаратов. - М.: Машиностроение, 1976. - 98 с.

72. Бушенин Д.В., Марусев В.А. Новые виды сильфонных уплотнений

в вакуумной арматуре. - Владимир, 1982. - 88 с.

73. Медников М.И. Вводы движения в вакуум. - М.: Машиностроение,

1974. - 180 с.

74. Деулин Е.А. и др. Расчет, конструирование и особенности

эксплуатации механизмов для работы в вакууме. - М.: Маши-

ностроение, 1986. - 79 с.

75. Wheeler W.R. High vacuum gate valves. Пат. США, кл.

76. Дривинг Н.Я., Назаров Л.Н. Сверхвысоковакуумный затвор про-

извольной ориентации с использованием легкоплавкого уплот-

нителя. / Межвузовский сборник "Электронное машиностроение,

робототехника, технология ЭВП". - М.: 1986. - с. 96 - 101.

77. Усов В.В., Гутник Г.Н. К вопросу об унификации некоторых

вакуумных изделий в ХФТИ. / Сборник "Вопросы атомной науки

и техники". Сер. "Физика и техника высокого вакуума". -

Харьков: вып. 1, 1974.

78. Розанов Л.Н. Вакуумная техника. - М.: Высшая школа, 1990. -

319 с.

komponenten im Anlagenban.: Пат. 281229 ГДР, МКИ .

DDR. N 3272353. Заявл. 4.04.89. Опубл. 1.08.90.

80. Батраков В.Б., Львов Б.Г., Шувалов А.С. Структур-

но-конструктивная классификация высоковакуумных клапанов и

затворов. / Тезисы докл. V Всесоюз. конференции "Физика и

техника высокого и сверхвысокого вакуума", ч. II. - Л.:

1985. - с. 134 - 135.

81. Батраков В.Б., Львов Б.Г. Анализ математических методов ав-

томатизации поискового конструирования и метод выбора тех-

нических объектов для САПР в ГАП. / В кн. "Разработка тео-

ретических основ проектирования ГАП". - НТО МИЭМ, N Гос.

регистрации 01840047750. Деп. ВНТИЦ. Инв. N 02850050183. -

М.: 1984, с. 4 - 31. ДСП.

82. Половинкин А.И. Методы инженерного творчества. - Волгоград,

1984. - 365 с.

83. Вермишев Ю.Х. Методы автоматического поиска решений при

проектировании сложных технических систем. - М.: Радио и

связь, 1982. - 152 с.

84. Батищев Д.И. Поисковые методы оптимального проектирования.

- М.: Советское радио, 1975. - 216 с.

85. Одрин В.М., Картавов С.С. Морфологический анализ систем.

- Киев: Наукова думка, 1977. - 147 с.

86. Альтшуллер Г.С. Творчество как точная наука. - М.: Со-

ветское радио, 1979. - 175 с.

87. Мюллер И. Эвристические методы в инженерных разработках.

- М.: Радио и связь, 1984. - 142 с.

88. Автоматизация поискового конструирования (искусственный ин-

теллект в машинном проектировании) / Под. ред. Половинкина

А.И. - М.: Радио и связь, 1981 - 344 с.

89. Буш Г.Я. Аналогия и техническое творчество. - Рига: Лиесма,

1979. - 128 с.

90. Дворянкин А.М., Половинкин А.И., Соболев А.Н. Методы и син-

тез технических решений. - М.: Наука, 1977. - 103 с.

91. Дворянкин А.М. и др. Методика поиска рациональных техни-

ческих решений. // Управляющие системы и машины. - N 5,

1977. - с. 102 - 107.

92. Половинкин А.И. Основы инженерного творчества: Учебное

пособие для студентов втузов. - М.: Машиностроение, 1988.-

368 с.

93. Повилейко Р.П. Классификация методов решений конструк-

торско-изобретательских задач (ДМП). / В кн. Информатика и

ее проблемы. - Новосибирск, вып. 5, 1972. - с. 1 - 37.

95. Ханзен Ф. Основы общей методики конструирования. Системати-

зация конструирования. - Л.: Машиностроение, 1969. - 166с.

96. Капустян В.М., Махотенко Ю.А. Конструктору о конструирова-

нии атомной техники. - М.: Атомиздат, 1980. - 190 с.

97. Холян А., Элюким С. Формализация составления варианто в за-

дачах конструирования. // Техническая эстетика. - N 7,

1970. - с. 3 - 5.

der morphologichen Analyse und Sunthese Т.1. / Industrie-

Anzeiger. - 1971, N 17, р. 349 - 353.

1976, N 6. - р. 270 - 273.

100. Цвиркун А.Д. Основы синтеза структуры сложных систем. - М.:

Наука, 1982. - 200 с.

101. Корячко В.П., Курейчик В.М., Норенков И.П. Теоретические

основы САПР. - М.: Энергоатомиздат, 1987. - 400 с.

102. Быков В.П. "Методическое обеспечение САПР в машинострое-

нии", Л.: Машиностроение, Ленингр. отд., 1989. - 255 с.

103. Аветисян Д.А., Башмаков И.А., Геминтер В.И. и др. Системы

автоматизированного проектирования. Типовые элементы, мето-

ды и процессы. - М.:Издательство стандартов, 1985. - 179 с.

104. Норенков И.П. "Введение в автоматизированное проектирование

технических устройств и систем". - М.: Высшая школа, 1980.

- 311 с.

105. Норенков И.П. Системы автоматизированного проектирования.

Принципы построения и структура. Кн. 1. - М.: Высшая школа,

1986. - 127 с.

106. Жук Д.М., Мартынюк В.А., Сомов П.А. Технические средства и

операционные системы. САПР. Кн. 2 - Минск: Высшая школа,

1988. - 156 с.

107. Кулон Ж.-Л., Сабоннадьер Ж.-К. САПР в электротехнике. - М.:

Мир, 1988. - 208 с.

108. САПР в радиотехнике. Справочник. / Под ред И.П. Норенкова.

- М.: Радио и связь, 1986. - 368 с.

109. Ильин В.Н., Фролкин В.Г., Бутко А.И. и др. Автоматизация

схемотехнического проектирования. - М.: Радио и связь,

1987. - 368 с.

110. Капустин Н.М., Васильев Г.Н. Автоматизация конструкторского

и технологического проектирования. САПР. Кн. 6. - Минск:

Вышэйшая школа, 1988. - 191 с.

111. Керимов З.Г., Багиров С.А. Автоматизированное проектирова-

ние конструкций. - М.: Машиностроение, 1985.

112. САПР изделий и технологических процессов в машиностроении.

Справочник. / Под ред. Аллик Р.А. - Л.: Машиностроение,

1986. - 319 с.

113. Челищев Б.Е., Боброва И.В., Гонсалес-Сабатер А. Автоматиза-

ция проектирования технологии в машиностроении. - М.: Маши-

ностроение, 1987. - 264 с.

114. Дризовский Л.М., Киселева Э.В., Буторина Т.С. Состояние и

перспективы развития САПР. // Приборы и системы управления.

N 11, 1983. - с. 15 - 17.

115. Проников А.С. Надежность машин. - М.: Машиностроение, 1978.

- 592 с.

116. Тамм Б.Г., Пуусепп М.Э., Таваст Р.Р. Анализ и моделирование

производственных систем. - М.: Финансы и статистика, 1987.-

191 с.

117. Батраков В.Б., Барашкова Г.Н., Кожевников А.И. Формирование

концептуальных моделей объекта в САПР вакуумной коммутаци-

онно-регулирующей аппаратуры". / Тезисы доклада ВНТС "САПР

в машиностроении". - Ульяновск: 1990г. - с. 59.

118. Арменский Е.В., Львов Б.Г., Митрофанов С.А. Стратегия пост-

роения концептуальной модели технического объекта. / Межву-

зовский сборник "Методы моделирования и оптимизации в САПР

конструкторско-технологических работ". - М.:1989. - с. 3-6.

119. Батраков В.Б. Функционально-структурная модель вакуумной

коммутационно-регулирующей аппаратуры". / Межвузовский

сборник научных трудов "Методы моделировани и оптимизации в

САПР конструкторско-технологических работ". - М.: МИЭМ,

1989. - с. 81 - 87.

120. А.с. N 1346894 (СССР). Поворотный вакуумный затвор. / Бат-

раков В.Б., Косухин В.В., Львов Б.Г.- Опубл. в Б.И. N 39,

121. Патент СССР N 368766, 1973.

122. Артоболевский И.И. Теория механизмов. - М.: Наука, 1967. -

720 с.

123. Батраков В.Б., Львов Б.Г., Шихов А.И. Исследование динамики

системы "вакуумная коммутационно-регулирующая аппаратура -

автоматический привод". / Тезисы доклада V Всесоюзной кон-

ференции "Физика и техника высокого и сверхвысокого вакуу-

ма", ч.II. - Л.: 1985. - с. 134.

124. Батраков В.Б., Львов Б.Г., Шихов А.И. Исследование динамики

системы "вакуумный натекатель - электромеханический при-

вод". / Межвузовский сборник "Электронное машиностроение,

робототехника, технология ЭВП". - М.: 1984. - с. 3 - 8.

125. Батраков В.Б., Львов Б.Г. Параметрический выбор элементной

базы при автоматизированном проектировании вакуумных систем

научно-космической аппаратуры. / В сб. "Конструирование и

технология изготовления космических приборов", АН СССР ИКИ.

- М.: Наука, 1988. - с. 32 - 37.

126. Бешелев С.Д., Гурвич Ф.Г. Математико-статистичекие методы

экспертных оценок. - М.: Статистика, 1980. - 263 с.

127. Батраков В.Б., Львов Б.Г. Интегральная оценка качества ме-

ханизмов вакуумных клапанов. - Деп. ВИНИТИ, N 7435-В87. -

М.: 1987. - 10 с.

128. Дюран Б., Оделл П. Кластерный анализ. - М.: Статистика,

1977. - 128 с.

130. Назаров Л.Н., Лавыгин В.Л. Оптимизация конструкций оборудо-

вания вакуумной техники. // ЭТ, сер. 7, ТОПО, вып. 6 (109),

1981. - с. 38 - 40.

131. Ипатов М.И. Расчет себестоимости проектируемых машин. - М.:

Машиностроение, 1968. - 179 с.

132. Батраков В.Б., Львов Б.Г. Методические основы формализации

структурного синтеза вакуумной коммутационно-регулирующей

аппаратуры (ВКРА). / Межвузовский сборник "Автоматизация

проектно-конструкторских работ в машиностроении". - М.: МИ-

ЭМ, 1991. - с. 89 - 96.

133. Батраков В.Б., Львов Б.Г. и др. Разработка математического

обеспечения автоматизированного синтеза структурных схем

механизмов вакуумных клапанов. / В кн. "Разработка теорети-

ческих основ проектирования гибких автоматизированных про-

изводств". - НТО МИЭМ, N гос.регистрации 01840047750. Деп.

ВНТИЦ.Инв.N 02850049753. - М.: 1984.- с. 45-87. ДСП.

134. Петров Ю.А., Батраков В.Б., Львов Б.Г. и др. Разработка ППП

синтеза и анализа механизмов вакуумно-коммутационной аппа-

ратуры. - НТО КнАПИ и МИЭМ, N гос.регистрации 01880018619.

Деп. ВНТИЦ. Инв. N 02890019044, 1989.- 262 с.

135. Озол О.Г. Исследование топологических свойств кинемати-

ческих цепей. / Труды ЛСХА, вып. XVII - Рига: 1965.

136. Артоболевский И.И., Руссман И.Б., Сергеев В.И., Статников

Р.Б. О некоторых способах выбора интегрального критерия ка-

чества в задачах оптимального проектирования машин./ "Маши-

новедение", N 2, 1978.

137. Батраков В.Б., Львов Б.Г., Шихов А.И. Кинематический анализ

механизмов вакуумных прямопролетных затворов. Деп. ВИНИТИ,

N 3455-85. - М.: 1985. - 15 с.

138. Львов Б.Г., Шихов А.И. Методика расчета коэффициента полез-

ного действия механизмов вакуумных клапанов и затворов.

Деп. ВИНИТИ, N 3454-85. - М.: 1985. - 12 с.

139. Форсайт Дж., Малькольм М., Моулер К. Машинные методы мате-

матических вычислений. - М.: Мир, 1980.

140. Батраков В.Б. Разработка сверхвысоковакуумной арматуры на

основе синтеза физического действия. / Тезисы доклада ВНПК

"Состояние и перспективы развития вакуумной техники" ("Ва-

куум-91"), ч. 2 - Казань: 1991. - с. 139 - 140.

141. Банк данных по физическим эффектам и явлениям, предназна-

ченный для поискового конструирования. - НТО ИЭИ, N гос.ре-

гистрации 01830066993. Деп. ВНТИЦ. Инв. N 02850047810. -

Иваново: 1984. ДСП.

142. Батраков В.Б., Кожеников А.И., Львов Б.Г. Метод автоматизи-

рованного выбора оптимального конструктивного варианта де-

тали. / Тезисы доклада Московской городской НТК "Автомати-

зация производственных процессов и управление качеством". -

М.: 1986. - с. 38. ДСП.

143. Батраков В.Б., Львов Б.Г. и др. Подсистема параметрического

выбора и анализа ВКРА. / В кн. "Автоматизация конструк-

торской и технологической подготовки ГПС". - НТО МИЭМ, N

гос. регистрации 01840047751. Деп. ВНТИЦ. Инв. N

0280012444. - М.: 1987. - с. 22 - 31. ДСП.

144. Батраков В.Б., Львов Б.Г. и др. Разработка ППП выбора и

оценки элементной базы ВС; структурного синтеза и кинемати-

ческого анализа механизмов ВКРА. / В кн. "Автоматизация

конструкторской и технологической подготовки ГПС". - НТО

МИЭМ, N гос.регистрации 01840047751. Деп. ВНТИЦ. Инв. N

02890021379. - М.: 1988. - с. 17 - 36. ДСП.

145. Батраков В.Б., Кожевников А.И., Львов Б.Г. Автоматизирован-

ный выбор элементной базы вакуумных систем. / Тезисы докла-

да отраслевой НТК "Автоматизация конструкторской и техноло-

гической подготовки производства в условиях ГПС". - Ужго-

род: 1988. - с. 19 - 26.

146. Батраков В.Б., Загуменнов А.Л. Синтез технических решений

ВКРА на ранних стадиях проектирования с применением ЭВМ. /

Тезисы доклада ВСНТК "Автоматизация проектирования и

конструирования в электронном машиностроении". - М.: 1988.

- с. 35. ДСП.

147. Батраков В.Б., Кожевников А.И., Львов Б.Г. Структурно-пара-

метрический синтез вакуумных систем технологического обору-

дования. / Тезисы доклада ВНПК "Состояние и перспективы

развития вакуумной техники" ("Вакуум-91").- Казань: 1991. -

с. 53 - 54.

148. Батраков В.Б., Кожевников А.И., Львов Б.Г. Формализация

проектирования вакуумных манометров на этапе выбора ФПД. /

Тезисы доклада II ВСМУиС "Датчики, преобразователи информа-

ции систем измерения, контроля и управления". - Гурзуф,

1990. - с. 36.

149. Батраков В.Б., Жирнов К.А., Львов Бю.Г. Создание вакумных

манипуляторов на базе их автоматизированного структурного

синтеза. / Тезисы доклада V ВС по робототехническим систе-

мам., ч. 1 - Геленджик: 1990. - с. 121 - 122.

150. Батраков В.Б., Кожевников А.И., Львов Б.Г., Павлова Т.С.

Автоматизация конструкторских работ при проектировании

ВКРА. / Тезисы доклада ВНТК "Информационное и программное

обеспечение САПР". - М.: 1989. - с. 101.

151. Батраков В.Б., Львов Б.Г. Структурно-функциональная модель

САПР ВКРА. - Деп. ВИНИТИ, N 5702-В87. - М.: 1987. - 8 с.

152. Батраков В.Б., Львов Б.Г. Структура и функции САПР изделий

в интегрированном ГАП ВКРА. / Тезисы доклада зонального НТС

"Состояние, опыт и направления работ по комплексной автома-

тизации производства на основе ГАП, РТК и ПР". Пенза, 1987.

- с. 96 - 97.

153. Львов Б.Г., Шихов А.И., Лилье В.К., Батраков В.Б. и др.

Разработка и исследование сверхвысоковакуумной коммутацион-

ной аппаратуры. - НТО МИЭМ, N гос.регистрации 01820077528.

Деп. ВНТИЦ. Инв. N 02850050187, М.: 1985. - 22 с. ДСП.

154. А.с. N 1275174 (СССР). Вакуумный электромагнитный затвор./

Батраков В.Б., Бродская О.Р., Губарев Е.В., Львов Б.Г.,

Павлова Т.С. - Опубл. в Б.И. N 45, 1986.

155. А.с. 1566156 (СССР). Сверхвысоковакуумный затвор. / Батра-

ков В.Б., Барашкова Г.Н., Кожевников А.И., Львов Б.Г. -

Опубл. в Б.И. N 19, 1990.

156. А.с. N 1479779 (СССР). Эксцентриковый привод клапана. /

Батраков В.Б., Косухин В.В., Львов Б.Г., Шихов А.И. -

Опубл. в Б.И. N 18, 1989.

157. А.с. N 1255789 (СССР). Сверхвысоковакуумный затвор. / Бат-

раков В.Б., Лилье В.К., Львов Б.Г.,Павлова Т.С.,Шихов А.И.

- Опубл. в Б.И. N 33, 1986.

158. А.с. N 1514998 (СССР). Сверхвысоковакуумный затвор с элект-

ромеханическим приводом. / Батраков В.Б., Кожевников А.И.,

Львов Б.Г., Павлова Т.С., Самойлов Ю.С. - Опубл. в Б.И. N

159. Вязовецков В.В. Вопросы конструирования сверхвысоковакуум-

ных клапанов с деформируемым уплотнителем. / Межвузовский

сборник "Электронное машиностроение, робототехника, техно-

логия ЭВП" - М.: 1986 - с. 81 - 86.

160. А.с. N 1222963 (СССР). Устройство для управления электроп-

риводом вакуумной арматуры. / Батраков В.Б., Косухин В.В.,

Львов Б.Г., Шихов А.И. - Опубл. в Б.И. N 13, 1986.

161. Батраков В.Б., Буриков С.А., Шихов А.И. Разработка средств

управления вакуумным оборудованием. / Тезисы доклада ВНТК

"Микропроцессорные средства локальной автоматики". - Грод-

но, 1989. - с. 42 - 43.

162. А.с. N 1291772 (СССР). Способ герметизации цельнометалли-

ческого разъемного вакуумного соединения. / Батраков В.Б.,

Львов Б.Г. - Опубл. в Б.И. N 7, 1987.

163. А.с. N 1323806 (СССР). Сверхвысоковакуумный клапан. / Бат-

раков В.Б., Львов Б.Г., Павлов П.А. - Опубл. в Б.И. N 26,

164. Жолобов С.П., Малев М.Д. Диффузия кислорода в металле при

электронной бомбардировке поверхности. / ЖТФ, т. XLI, N 3,

1971. - с. 627 - 629.

165. А.с. N 1373955 (СССР). Сверхвысоковакуумный затвор. / Бат-

раков В.Б., Варлов Л.Я., Лилье В.К., Львов Б.Г., Павлов

П.А.- Опубл. в Б.И. N 6, 1988.